TY  - BOOK
AU  - Александров,Владимир Кузьмич
AU  - Пилипович,В.А.
TI  - Шаги к микроразмерам: методы микроминиатюризации
PY  - 1983///
CY  - Минск
PB  - Наука и техника
KW  - микроэлектроника
N1  - Библиогр.: с. 71
ER  -