TY  - GEN
AU  - Гудымович,Елена Никифоровна
AU  - Фролова,Ульяна Михайловна
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
TI  - Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка
KW  - диоксид кремния
KW  - безрезистное травление
KW  - фотохимическое травление
KW  - термическое травление
KW  - поливиниловый спирт
KW  - статьи в сборниках
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000483264
ER  -