TY  - GEN
AU  - Никулина,Л.Д.
TI  - Синтез, свойства и применение пленок карбонитридов титана, циркония и тантала
KW  - нанотехнологии
KW  - наноматериалы полифункциональные
KW  - синтез пленок
KW  - карбонитриды
N1  - Библиогр.: 5 назв
ER  -