TY  - GEN
AU  - Смирнов,А.П.
AU  - Ситников,Алексей Геннадьевич
AU  - Соснин,Эдуард Анатольевич
AU  - Шитц,Дмитрий Владимирович
AU  - Тарасенко,Виктор Федотович
TI  - Облучатель на основе эксиламп для обработки полупроводниковых пластин
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - эксилампы
KW  - облучатели
KW  - полупроводниковые пластины
KW  - облучающие модули
N1  - Библиогр.: 1 назв
ER  -