TY  - BOOK
AU  - Александров,Сергей Евгеньевич
AU  - Греков,Федор Федорович
TI  - Технология полупроводниковых материалов: учебное пособие
T2  - Учебники для вузов. Специальная литература
SN  - 9785811412907
PY  - 2012///
CY  - Санкт-Петербург [и др.]
PB  - Лань
KW  - учебные издания для вузов
KW  - полупроводниковые материалы, технология
KW  - материалы электронной техники
KW  - бинарные соединения
KW  - физические свойства
KW  - химические свойства
KW  - кремний
KW  - германий
KW  - алюминий
KW  - галлий
KW  - индий
KW  - фосфор
KW  - мышьяк
KW  - очистка полупроводниковых материалов
KW  - синтез полупроводниковых материалов
KW  - монокристаллы, выращивание
N1  - Библиогр.: с. 227
UR  - http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=3554
ER  -