TY  - GEN
AU  - Красотин,А.Ю.
AU  - Колесников,Алексей Викторович
AU  - Труханов,Евгений Михайлович
TI  - Рентгенотопографические исследования дислокационной структуры эпитаксиальных слоев GeSi, выращенных на вицинальных подложках Si (001)
KW  - физика полупроводников
KW  - физика диэлектриков
KW  - эпитаксиальные слои
KW  - рентгенотопографические исследования
KW  - дислокации несоответствия
N1  - Библиогр.: 8 назв
ER  -