TY - GEN AU - Шугуров,Владимир Викторович AU - Струмилова,Наталья Владимировна AU - Колубаева,Юлия Александровна TI - Исследование микрокапельной фракции плазмы, генерируемой источником на основе вакуумного дугового разряда с композиционным Zr-Y катодом KW - физика высокоэнергетических систем KW - химия высокоэнергетических систем KW - плазма KW - вакуумный дуговой разряд KW - пленки KW - микрокапельная фракция KW - напыление N1 - Библиогр.: 1 назв ER -