TY - BOOK AU - Ивановский,Геннадий Фомич AU - Петров,Владимир Иванович TI - Ионно-плазменная обработка материалов PY - 1986/// CY - Москва PB - Радио и связь KW - ионы KW - Плазменная обработка металлов KW - ионно-плазменные воздействия KW - твердые тела KW - энергетические ионы KW - химическая обработка материалов KW - технологическое оборудование N1 - Библиогр.: с. 226-231 (143 назв.) ER -