TY  - BOOK
AU  - Кузнецов,Федор Андреевич
ED  - Всесоюзная конференция по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок
TI  - Рост полупроводниковых кристаллов и пленок
PY  - 1984///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука, Сибирское отделение
KW  - полупроводники
KW  - рост кристаллов
KW  - полупроводниковые пленки
KW  - поверхностные процессы
KW  - кристаллы полупроводников
KW  - полупроводниковые материалы
N1  - Библиогр. в конце докл
ER  -