TY - GEN AU - Гурских,Алексей Валерьевич AU - Крысина,Ольга Васильевна TI - Наноструктурные нитридные покрытия, синтезированные дуговым распылением композиционных катодов системы Ti-Cu KW - наноструктурные покрытия KW - композиционные катоды KW - вакуумные установки KW - покрытия KW - рентгенофазовый анализ KW - фазовый состав KW - дефектная субструктура KW - нанокристаллические покрытия N1 - Библиогр.: 3 назв ER -