TY - GEN AU - Борило,Лариса Николаевна TI - Тонкопленочные наноматериалы на основе системы войных оксидов ZrO2-GeO2 KW - наноматериалы KW - оксиды KW - золь-гель метод KW - тонкопленочные материалы KW - технологические характеристики KW - пленки KW - физико-химические свойства KW - атомно-силовая микроскопия ER -