TY  - BOOK
AU  - Королев,Михаил Александрович
TI  - Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов  по дисциплине "Современные проблемы технологии наноэлектроники": [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
T2  - Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - самостоятельные работы
KW  - наноэлектроника
KW  - МОП-транзисторы наноразмерные
KW  - интегральные микросхемы кремниевые наноразмерные
KW  - интегральные микросхемы наноразмерные, металлизация
KW  - технология интегральных микросхем
KW  - микроминиатюризация МОП-транзисторов
KW  - МОП-транзисторы субмикронные
N1  - Библиогр.: с. 26
ER  -