TY  - BOOK
AU  - Кузнецова,Е.Г.
AU  - Шевяков,Василий Иванович
TI  - Примерная программа учебной дисциплины "Металлизация в системах с наноразмерными элементами"
T2  - Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Интегральные схемы
KW  - Металлизация
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh
KW  - учебные программы
KW  - наноэлектроника
KW  - интегральные схемы большие
KW  - металлизация многослойная многоуровневая
ER  -