TY  - BOOK
AU  - Неволин,Владимир Кириллович
TI  - Примерная программа учебной дисциплины "Зондовые методы создания структур наноэлектроники"
T2  - Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - учебные программы
KW  - нанотехнологии зондовые
KW  - нанотрубки углеродные
KW  - поверхности полупроводников
KW  - сканирующая туннельная микроскопия
KW  - атомно-силовая микроскопия
KW  - подложки микросхем
N1  - Разработ. указ. на обороте тит. л; Библиогр.: с. 10, 26
ER  -