TY  - BOOK
AU  - Громов,Дмитрий Геннадьевич
TI  - Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами"
T2  - Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
SN  - 9785725606485
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Интегральные схемы
KW  - Металлизация
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh
KW  - интегральные схемы сверхбольшие кремниевые
KW  - силицидообразующие системы металл-кремний
KW  - силицидные контактные слои
KW  - диффузионно-барьерные слои
KW  - медные многоуровневые межсоединения
KW  - металлизация многослойная многоуровневая
KW  - Damascene, технология металлизации интегральных схем
N1  - Библиогр.: с. 188-201
ER  -