TY  - BOOK
AU  - Шевяков,Василий Иванович
TI  - Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами": [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
T2  - Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
SN  - 9785725606478
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Интегральные схемы
KW  - Металлизация
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh
KW  - наноэлектроника
KW  - металлизация многослойная многоуровневая
KW  - контакты омические
KW  - контакты выпрямляющие
KW  - контакты омические силицидные
KW  - тепловая устойчивость контактных систем металлизации
KW  - контактные системы металлизации
KW  - металлизация многоуровневая
N1  - Библиогр.: с. 93
ER  -