TY  - BOOK
AU  - Филимонова,Нина Ивановна
TI  - Молекулярно-лучевая эпитаксия диэлектрических слоев BaF2/CaF2/Si(100) для структур "полупроводник на диэлектрике": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.07
PY  - 2011///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - Физика конденсированного состояния
KW  - nsnr
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 21-22
ER  -