TY  - BOOK
AU  - Галперин,Вячеслав Александрович
AU  - Данилкин,Евгений Владимирович
AU  - Мочалов,Алексей Иванович
TI  - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
T2  - Нанотехнологии
SN  - 9785996300327
PY  - 2010///
CY  - Москва
PB  - БИНОМ. Лаборатория знаний
KW  - Интегральные схемы
KW  - Производство
KW  - Плазмохимические методы
KW  - nlr_sh
KW  - интегральные микротехнологии
KW  - наноэлектроника, технологические процессы
KW  - микроэлектроника, технологические процессы
KW  - интегральные схемы, травление вакуумно-плазменное
KW  - наносистемы, травление вакуумно-плазменное
KW  - подложки, травление вакуумно-плазменное
KW  - травление вакуумно-плазменное, методы
KW  - травление ионно-плазменное, методы контроля
KW  - кремний, травление плазмохимическое
KW  - интегральные системы ультрабольшие, травление вакуумно-плазменное
KW  - эмиттеры кремниевые, регулирование профилей травлением вакуумно-плазменным
KW  - микрозеркала, изготовление травлением вакуумно-плазменным
KW  - лазеры, изготовление травлением вакуумно-плазменным
N1  - Библиогр.: с. 275-280
ER  -