TY  - BOOK
AU  - Королев,Михаил Александрович
AU  - Красюков,Антон Юрьевич
AU  - Поломошнов,Сергей Александрович
TI  - Учебное пособие по дисциплине "Современные проблемы технологии наноэлектроники": [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
T2  - Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
SN  - 9785725606539
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - наноэлектроника
KW  - МОП-транзисторы наноразмерные
KW  - интегральные микросхемы наноразмерные кремниевые
KW  - транзисторы биполярные изопланарные
KW  - планарная технология
KW  - диэлектрики подзатворные
KW  - МОП-структуры
KW  - двуокись кремния
KW  - окислы подзатворные
KW  - нитрирование термическое
KW  - МОП-транзисторы субмикронные
KW  - МОП-транзисторы
KW  - микроминиатюризация МОП-транзисторов
KW  - поликремниевые затворы
KW  - силицидные затворы
KW  - интегральные микросхемы наноразмерные, металлизация
KW  - технология МОП-транзисторов наноразмерных
N1  - Библиогр.: с. 97
ER  -