TY  - BOOK
AU  - Смирнов,Р.Н.
AU  - Асеев,Александр Леонидович
AU  - Михайлов,Николай Николаевич
AU  - Дворецкий,Сергей Алексеевич
TI  - Нанотехнологии в полупроводниковой электронике
SN  - 9785769209635
PY  - 2007///
CY  - Новосибирск
PB  - Изд-во СО РАН
KW  - Наноструктуры (физ.)
KW  - RuMoRKP
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - наноэлектроника
KW  - нанотранзисторы
KW  - фототранзисторы
KW  - фотодиоды
KW  - ИК-фотоприемники
KW  - полупроводниковые гетеросистемы
KW  - лазеры
KW  - наноструктурирование
KW  - молекулярно-лучевая эпитаксия
KW  - тонкие пленки
KW  - электронно-лучевая литография
KW  - квантовые структуры
KW  - электронная микроскопия
KW  - кластеры
KW  - элементная база
KW  - микроэлектроника
N1  - Авт. указаны в огл; Библиогр. в конце параграфов
ER  -