TY  - BOOK
AU  - Яфаров,Равиль Кяшшафович
TI  - Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
SN  - 9785922111508
PY  - 2009///
CY  - Москва
PB  - Физматлит
KW  - СВЧ источники
KW  - плазменная обработка материалов
KW  - электромагнитные волны - взаимодействие с плазмой
KW  - плазма низкотемпературная
KW  - вакуумно-плазменные нанотехнологии
KW  - теория плазмы газового разряда
KW  - плазмохимическое оборудование
KW  - диффузионные процессы (математическая теория)
KW  - диффузионные модели
KW  - плазмохимические технологии
KW  - плазмохимическое травление
KW  - кремниевые материалы
KW  - плазмохимическое осаждение гетероструктур
KW  - наноструктуры
KW  - нанопленки
KW  - нанокомпозиты
KW  - алмазно-графитовые материалы
KW  - алмазно-углеводородные материалы
KW  - аллотропные модификации
N1  - Библиогр.: с. 205-216
ER  -