TY - GEN AU - Крысина,Ольга Васильевна TI - Формирование нанокристаллической структуры и ее влияние на механические свойства тонкопленочных покрытий TiN, синтезированных из плазмы дуговых разрядов низкого давления KW - физика металлов KW - тонкопленочные покрытия KW - механические свойства KW - труды ученых ТГУ ER -