TY  - BOOK
AU  - Булатов,Андрей Николаевич
TI  - Формирование и электрические свойства планарных элементов на основе металлических и углеродных пленок наноразмерных толщин: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.01
PY  - 2005///
CY  - М.
PB  - б. и.
KW  - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
KW  - БВАК2000N3
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 21-22
ER  -