TY  - GEN
AU  - Ванифатьева,Екатерина Юрьевна
TI  - Разработка композиции для фототравления оксида кремния
KW  - наноматериалы полифункциональные
KW  - нанотехнологии
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - фототравление
KW  - оксид кремния
N1  - Библиогр.: 5 назв
ER  -