TY  - BOOK
AU  - Боков,Юрий Сергеевич
TI  - Фото-, электронно- и рентгенорезисты
T2  - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
PY  - 1982///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
KW  - фотолитография
KW  - rurkp
KW  - Микроэлектронные схемы - Производство
KW  - монографии
N1  - На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА; Оцифровано в НБ ТГУ
UR  - http://sun.tsu.ru/limit/2016/000059913/000059913.djvu
ER  -