TY  - BOOK
AU  - Палатник,Лев Самойлович
AU  - Сорокин,Вадим Константинович
TI  - Материаловедение в микроэлектронике
T2  - Электронное материаловедение
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - микроэлектроника
KW  - материалы электронной техники
KW  - полупроводники
KW  - металлы
KW  - диэлектрики
KW  - адсорбция
KW  - поверхности газов
KW  - поверхности паров
KW  - диффузия
KW  - примеси
KW  - пленочные материалы
KW  - резистивные пленки
KW  - эпитаксиальные пленки
KW  - твердые тела
KW  - физика поверхности
KW  - поверхности раздела
KW  - атомное строение
KW  - дефекты кристаллов
KW  - материаловедение вакуумное
KW  - планарные технологии
KW  - монографии
N1  - Библиогр.: с. 268-278; Получено из INTERNET
UR  - http://sun.tsu.ru/limit/2016/000350144/000350144.djvu
ER  -