TY  - BOOK
AU  - Таран,Владимир Маркович
AU  - Орлов,Василий Иванович
TI  - Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
T2  - Обзоры по электронной технике
PY  - 1987///
CY  - М.
PB  - Электроника
KW  - плазменная обработка материалов
KW  - материалы электронной техники
KW  - плазменные устройства
KW  - плазмотроны
KW  - напыление порошковых материалов
KW  - плазменные ускорители
KW  - магнетронные распылительные системы
KW  - реакторы плазменного травления
KW  - ионные источники плазменные
KW  - вакуумная техника
KW  - плазменное оборудование
KW  - ионное травление
KW  - плазмохимическое травление
KW  - плазменно-дуговое напыление
KW  - нанесение тонких пленок
N1  - Библиогр.: с. 48-50
ER  -