TY  - BOOK
AU  - Сапольков,Александр Юрьевич
TI  - Геттерирование подвижных ионов в диэлектрических слоях МДП-структур: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10
PY  - 1996///
CY  - М.
KW  - Физика полупроводников и диэлектриков
KW  - БВАК1995N4
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 19-21
ER  -