TY  - BOOK
AU  - Глэнг,Рейнхард
AU  - Майселл,Л.
TI  - Технология тонких пленок: справочник : [В 2 т. ]
PY  - 1977///
CY  - М.
PB  - Советское радио
KW  - тонкие пленки
KW  - технология
KW  - справочники
N1  - Библиогр. в конце глав; Предм. указ.: с. 653-662
ER  -