TY  - BOOK
AU  - Боуэн,Д.К.
AU  - Таннер,Б.К.
AU  - Шульпина,И.Л.
TI  - Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография
SN  - 5020249637
PY  - 2002///
CY  - СПб.
PB  - Наука
KW  - полупроводниковое материаловедение
KW  - электронная техника
KW  - рентгеновские дифракционные методы
KW  - кристаллы
KW  - рентгеновская топография
KW  - детекторы
KW  - эпитаксиальные слои
KW  - тонкие пленки
KW  - многослойные системы
KW  - синхротронное излучение
KW  - компьютерное моделирование
KW  - дифрактометрия
N1  - Библиогр. в конце глав; Предм. указ.: с. 271-273
ER  -