TY  - BOOK
AU  - Суворинов,Александр Владимирович
TI  - Развитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники: Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.07
PY  - 1998///
CY  - М.
KW  - Оборудование производства электронной техники
KW  - БВАК1995N4
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 31-34
ER  -