TY  - BOOK
AU  - Костромин,Сергей Викторович
TI  - Низкотемпературная технология получения эпитаксиальных структур карбид кремния на изоляторе на основе композиции "SiC-AIN": Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.27.06
PY  - 1997///
CY  - СПб.
KW  - Технология полупроводников и материалов электронной техники
KW  - БВАК1995N4
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 15-16
ER  -