TY  - BOOK
AU  - Лубсанов,Ринчин Балданович
AU  - Воробьев,Григорий Абрамович
ED  - Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
TI  - Электропроводность и деградационные процессы в формованной тонкопленочной структуре металл-диэлектрик-металл на основе оксинитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10
PY  - 1986///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - Физика полупроводников и диэлектриков
KW  - nsnr
KW  - диссертации
KW  - металл-диэлектрик-металл (МДМ), тонкие пленки
KW  - МДМ-системы, электропроводность
KW  - оксинитрид кремния, тонкие пленки
KW  - диэлектрические пленки формованные, деградационные процессы
KW  - диэлектрические пленки формованные, токоперенос
KW  - эмиссия электронов в вакуум
N1  - Библиогр.: л. 199 - 213
ER  -