TY  - BOOK
AU  - Березин,Андрей Сергеевич
AU  - Мочалкина,Ольга Романовна
AU  - Степаненко,Игорь Павлович
TI  - Технология и конструирование интегральных микросхем: [Учебное пособие для втузов]
PY  - 1983///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Учебники и пособия
KW  - rurkp
KW  - интегральные микросхемы
KW  - кремний
KW  - фотолитография
KW  - биполярные транзисторы
N1  - Библиогр.: с. 227; Предм. указ.: с. 228-229
ER  -