TY  - BOOK
ED  - Научно-техническая конференция АООТ "НИИМЭ и завод "МИКРОН"
TI  - Сборник трудов. . . 
SN  - 5864830739
PY  - 1998///
CY  - М., Зеленоград
KW  - микросхемы
KW  - микроэлектроника
KW  - транзисторы
KW  - технологии
KW  - лазерные компакт-диски
KW  - CD-ROM
KW  - диэлектрики
KW  - резисторы
KW  - волоконнооптическая связь
KW  - моделирование
KW  - технология
KW  - САПР
KW  - схемотехника
KW  - полупроводники
KW  - пленки
KW  - сплавы
KW  - материаловедение
KW  - интегральные микросхемы
KW  - субмикронная технология
ER  -