TY  - BOOK
AU  - Анохин,Валентин Захарович
AU  - Угай,Яков Александрович
TI  - Кинетика и механизм термического окисления кремния
PY  - 1983///
CY  - Воронеж
PB  - Издательство Воронежского университета
KW  - Кремний - Окисление - Механизм
KW  - rurkp
KW  - окисление
KW  - электронные процессы
ER  -