TY  - BOOK
AU  - Нашельский,Александр Яковлевич
TI  - Технология полупроводниковых материалов: Учебное пособие для повышения квалификации и переподготовки мастеров, начальников участков и цехов полупроводникового производства
PY  - 1987///
CY  - М.
PB  - Металлургия
KW  - Полупроводниковые - Производство - Учебники и пособия
KW  - rurkp
N1  - Библиогр.: с. 331-332; Предм. указ.: с. 333-335
ER  -