TY  - BOOK
AU  - Гребенкина,Валентина Георгиевна
AU  - Доброер,В.С.
AU  - Панов,Л.И.
AU  - Тризна,Ю.П.
AU  - Горячев,Ю.М.
TI  - Толстопленочная микроэлектроника
PY  - 1983///
CY  - Киев
PB  - Наукова думка
KW  - Микроэлектронные схемы пленочные
KW  - rurkp
N1  - Авт. указаны на обороте тит. л; В надзаг.: АН УССР, Ин-т пробл. материаловедения
ER  -