TY  - BOOK
AU  - Васильев,Владислав Юрьевич
TI  - Процессы химического осаждения из газовой фазы и свойства фосфор- и борсиликатных стеклообразных слоев: Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора химических наук. 02.00.21
PY  - 2002///
CY  - Новосибирск
KW  - химия твердого тела
KW  - БВАК2000N3
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с.37-40
ER  -