TY  - BOOK
AU  - Лютецкая,Ирина Геннадиевна
TI  - Микропрофилирование композиции "SiC-AIN" методом реактивного ионно-плазменного травления: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.27.06
PY  - 1999///
CY  - СПб.
KW  - Технология полупроводников и материалов электронной техники
KW  - БВАК1995N4
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 16
ER  -