TY  - BOOK
AU  - Симонов,Владимир Валентинович
AU  - Корнилов,Л.А.
AU  - Шашелев,А.В.
AU  - Шокин,Е.В.
TI  - Оборудование ионной имплантации
SN  - 5256000071
PY  - 1988///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
KW  - Ионное легирование - Установки
KW  - rurkp
N1  - Библиогр.: с. 170-181 (69 назв.)
ER  -