TY  - BOOK
AU  - Хирвонен,ДжК.
AU  - Елютин,О.П.
TI  - Ионная имплантация
PY  - 1985///
CY  - М.
PB  - Металлургия
KW  - Металлы - Легирование ионное - Сборники
KW  - rurkp
N1  - Перевод изд.: Ion implantation (New York etc., 1980)
ER  -