Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) учебное пособие В. В. Груздов, Ю. В. Колковский, Ю. А. Концевой
Material type: TextPublication details: Москва Техносфера 2017Description: 96 сSubject(s): материал | СВЧ | СВЧ электроника | электроника | микроэлектроникаOther classification: 32 Online resources: ЭБС IPR BOOKS Summary: Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.Книга находится в премиум-версии IPR SMART.
Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.
There are no comments on this title.