Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Image from Google Jackets
Normal view MARC view

Диффузия примесей и собственных точечных дефектов в арсениде галлия С. С. Хлудков, И. А. Прудаев, О. П. Толбанов, И. В. Ивонин, науч. ред. И. В. Ивонин ; Нац. исслед. Томский гос. ун-т

Contributor(s): Хлудков, Станислав Степанович | Прудаев, Илья Анатольевич | Толбанов, Олег Петрович | Ивонин, Иван Варфоломеевич | Томский государственный университетMaterial type: TextTextPublication details: Томск Издательство Томского государственного университета 2022Description: 246, [1] с. илContent type: Текст Media type: электронный ISBN: 9785907572058Subject(s): арсенид галлия | диффузия примесей | диффузия собственных точечных дефектовGenre/Form: монографии Online resources: Click here to access online Abstract: В монографии систематизированы наиболее важные, по нашему мнению, данные, касающиеся процесса диффузии в арсениде галлия собственных точечных дефектов, донорных, акцепторных примесей, примесей с глубокими энергетическими уровнями, образованию дислокаций в процессе диффузии примесей. Обсуждены механизмы диффузионных процессов. Для широкого круга специалистов – научных сотрудников, инженеров, преподавателей, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физики и технологии полупроводниковых материалов и микроэлектроники.
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
No physical items for this record

Посвящается 70-летию радиофизического факультета Томского государственного университета

Библиогр. в конце глав

В монографии систематизированы наиболее важные, по нашему мнению, данные, касающиеся процесса диффузии в арсениде галлия собственных точечных дефектов, донорных, акцепторных примесей, примесей с глубокими энергетическими уровнями, образованию дислокаций в процессе диффузии примесей. Обсуждены механизмы диффузионных процессов. Для широкого круга специалистов – научных сотрудников, инженеров, преподавателей, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физики и технологии полупроводниковых материалов и микроэлектроники.

There are no comments on this title.

to post a comment.