Normal view
MARC view
Влияние режимов ВЧ магнетронного напыления на свойства тонких пленок диоксида олова Д. В. Неткачев, О. В. Анисимов, Н. К. Максимова, Е. В. Черников
Material type: ArticleSubject(s): физика полупроводников | физика диэлектриков | полупроводниковые низкоразмерные структуры | физика полупроводниковых низкоразмерных структур | технология полупроводниковых низкоразмерных структур | тонкие пленки диоксида олова | магнетронное распыление | ВЧ-магнетронное распыление | экспериментальные исследования | труды ученых ТГУ In: Современные проблемы физики, технологии и инновационного развития : сборник статей молодых ученых С. 106-107No physical items for this record
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.