Normal view
MARC view
Проблемы микроэлектронной технологии Сборник статей Отв. ред. А. А. Орликовский; Рос. АН, Физико-технологический ин-т
Material type:
TextSeries: Труды Физико-технологического института / Рос. АНPublication details: М. Наука 1994Description: 127 с. илISBN: 5020070300Subject(s): технологии | микроэлектроника | плазма | травление | осаждение | полупроводникиOther classification: 47.13.11
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-814865к (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000242557 | ||
| 1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-809102 (Browse shelf(Opens below)) | 2 | Available | 13820000315286 |
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Книгохранилище Close shelf browser (Hides shelf browser)
Библиогр. в конце ст.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.