Исследование генерации ионных пучков в вакуумном дуговом ионном источнике с многокомпонентным катодом В. П. Фролова, А. Г. Николаев, Г. Ю. Юшков [и др.]
Material type: ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): вакуумно-дуговые ионные источники | ионные пучки | многокомпонентные среды | медно-хромовый композитGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 10. С. 132-135Abstract: Вакуумные дуговые ионные источники находят широкое применение для модификации свойств различных поверхностей с помощью ионной имплантации. Использование в таких источниках катодов, состоящих из многокомпонентных соединений, позволяет получать пучки сложного состава, что расширяет их технологические возможности. Представлены исследования ионного пучка, генерируемого в вакуумном дуговом ионном источнике с двухкомпонентным катодом из медно-хромового композита при наложении на разрядный промежуток магнитного поля. Показано, что распределение зарядовых состояний ионов меди и хрома в пучке зависит от их соотношения в материале катода, а доли этих ионов в пучке соответствуют их атомарному содержанию в катоде. Показано, что соотношение ионов меди и хрома в плазме и ионном пучке не зависит от магнитного поля и соответствует соотношению атомов этих элементов в катоде.Библиогр.: 15 назв.
Ограниченный доступ
Вакуумные дуговые ионные источники находят широкое применение для модификации свойств различных поверхностей с помощью ионной имплантации. Использование в таких источниках катодов, состоящих из многокомпонентных соединений, позволяет получать пучки сложного состава, что расширяет их технологические возможности. Представлены исследования ионного пучка, генерируемого в вакуумном дуговом ионном источнике с двухкомпонентным катодом из медно-хромового композита при наложении на разрядный промежуток магнитного поля. Показано, что распределение зарядовых состояний ионов меди и хрома в пучке зависит от их соотношения в материале катода, а доли этих ионов в пучке соответствуют их атомарному содержанию в катоде. Показано, что соотношение ионов меди и хрома в плазме и ионном пучке не зависит от магнитного поля и соответствует соотношению атомов этих элементов в катоде.
There are no comments on this title.