Normal view
MARC view
Лазеры в микроэлектронике Электронный ресурс [учебное пособие для студентов старших курсов вузов по специальности 651400 "Машиностроительные технологии и оборудование", 150206 "Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов"] И. Е. Малов, И. Н. Шиганов ; Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана
Material type:
TextPublication details: Москва Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана 2012Description: 1 онлайн-ресурс (74 с.) илSubject(s): электронные учебные пособия для вузов | лазерная обработка материалов | микроэлектроника | лазерная обработка полупроводников | имплантированные слои | лазерный отжиг | осаждение пленок | легирование лазерное | лазерная обработка пленок | размерная обработка | микромаркировка | маркировка полупроводниковых пластин | запись информации цифровая | запись информации аналоговая | динамическая балансировка деталей | лазерные установкиOnline resources: ЭБС Лань Доступ к полному тексту документа после регистрации пользователя на сайте http://e.lanbook.com/ в локальной сети ТГУ
No physical items for this record
Библиогр.: с. 73
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.