Normal view
MARC view
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование [учебно-справочное руководство для университетов по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников] В. Ю. Киреев
Material type:
TextPublication details: Долгопрудный Интеллект 2016Description: 319 с., [4] л. цв. рис. рис., таблISBN: 9785915592154Subject(s): интегральные приборы | интегральные системы | интегральные схемы с субстананометровыми топологическими нормами | производство интегральных микросхем | нанолитографические методы | нанолитография оптическая | фотолитография | фотолитографические процессы | литография на экстремальном ультрафиолетовом излучении | наноимпринт-литография | литография электронная проекционная | литография электронная сканирующая | травление вакуумное газопламенное | наноструктурирование поверхностей | физико-химические процессы | топология наноструктур | Оборудование производства электронной техники | технологические маршруты | литографические циклы универсальные | нанолитографические процессы | техника оптической нанолитографии, ограничения | наноштампы | фотошаблоны
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается по месту хранения | Научная библиотека ТГУ Читальный зал 5 | 621.3 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000920995 | ||
| 1 неделя | Научная библиотека ТГУ Читальный зал 5 | 621.3 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 2 | Available | 13820000920996 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000920997 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 2 | Available | 13820000920998 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 3 | Available | 13820000920999 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 4 | Available | 13820000921000 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 5 | Available | 13820000921001 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 6 | Available | 13820000921002 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 7 | Available | 13820000921003 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 8 | Available | 13820000921004 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 9 | Available | 13820000921005 | ||
| 6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент. Депозитарий | 62 К43 (Browse shelf(Opens below)) | 10 | Available | 13820000921006 |
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Читальный зал 5 Close shelf browser (Hides shelf browser)
Библиогр.: с. 314-319
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.