Normal view
MARC view
Оборудование полупроводникового производства [учебное пособие для студентов приборостроительных специальностей вузов] И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов
Material type: TextSeries: Для вузовPublication details: Москва Машиностроение 1986Description: 262, [1] с. рис., таблSubject(s): учебные издания для вузов | производство полупроводниковых приборов | производство интегральных микросхем | технологическое оборудование | нагрев изделий | вакуумные системы | газовые системы | выращивание монокристаллов полупроводников | кристаллизационные установки | оборудование для обработки поверхностей | диффузионно-окислительные системы | системы ионной имплантации | эпитаксиальные преобразователи | фотолитографическое оборудование | оборудование для осаждения пленок | монтажно-сборочное оборудование | автоматизация производства | промышленные роботыItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-606779 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000911768 |
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Книгохранилище Close shelf browser (Hides shelf browser)
Библиогр.: с. 256-258
Предм. указ.: с. 259-263
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.